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소형 유량 센서 라피플로
FSM3

【NEW】내환경 사양(IP65) 추가
1대로 공기, 질소, 아르곤, 탄산 가스, 혼합 가스의 5가지 종류의 가스에 대응 가능한 유량 센서입니다.
업종 : 실드 가스|반도체 제조 공정(후 공정)|N2 퍼지 관련 기기
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카탈로그 PDF
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취급 설명서
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2D CAD
- 3D CAD CKD plus 회원 한정
- 상품 특징
- 상품 구성
-
【NEW】내환경 사양(IP65) 추가
분진이 있는 환경, 유지 관리 시나 청소 시에 물이 닿아도 안심하고 사용할 수 있는 보호 구조 IP65 타입을 추가
유럽 방폭 지령(ATEX)에도 옵션으로 대응 -
【스테인리스 보디 타입】
NEW: 유량 범위: 최대 1000ℓ까지 확대
1대로 공기, 질소, 아르곤, 탄산 가스, 혼합 가스의 5가지 종류의 가스에 대응
산소 전용 모델도 준비(금유 사양)
JXR 피팅 타입, 바이트 피팅 타입의 2가지 피팅과 나사 조임 타입에서 선택 가능
니들 일체형 타입으로 향상된 공간 절약에 공헌 -
【수지 보디 타입】
1대로 공기, 질소, 아르곤, 탄산 가스, 혼합 가스의 5가지 종류의 가스에 대응
원터치식 엘보, 원터치식 스트레이트, 나사 조임식 엘보, 나사 조임식 스트레이트의 4가지 중에서 피팅 선택 가능
2포트 밸브를 직접 접속 가능하여 향상된 공간 절약화에 공헌
니들 일체형 타입으로 향상된 공간 절약에 공헌 -
【고정도·고응답】
유로 재설계로 기존 제품과 비교하여 최대 50%의 압력 손실을 저감
흐르는 방향을 순방향, 양방향, 역방향의 3가지를 임의로 설정 가능
응답 시간: 50msec -
【IO-Link로 공장 전체를 자동화】
IO-Link 대응으로 파라미터나 이벤트 데이터를 전송할 수 있어 예지 보전이 가능
누설 검사나 에어 소비량 관리에 최적 -
【키트 대출 개시(일본 국내 한정)】
구입 전에 유량 범위의 확인 가능
CKD로 문의해 주십시오.
형번 | 명칭 |
---|---|
FSM3-L | 액정 표시 타입 |
FSM3-B | 바 표시 |
FSM3-C | IO-Link |
FSM3-L※4/5 | 액정 표시 타입 |
FSM3-B※4/5 | 바 표시 |
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