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파인시스템기기 약액용 기기
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파인시스템기기 약액용 기기에는아래의 상품이 있습니다.

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에어 오퍼레이트밸브 AMD·AMG
 
반도체 및 LCD 제조 등의 깨끗한 약액(순수를 포함)을 흐르게하는 장치내에서 액의 ON·OFF에 사용되는 에어 오퍼레이트밸브
초고순도 프로세스 제어에 불가결한 고기능·고품질 시스템 상품을 다양하게 준비

PFA 성형 바디를 채용한 약액용 에어 오퍼레이트밸브가 소형부터 대형까지 변화가 다양한 완전시리즈화
1/8”~1"까지 높은 신뢰성 피팅을 일체화
접속구경Rc1/8~Rc1까지 선택이 자유롭다

다양한 접속 피팅
슈퍼 피팅, 슈퍼300, 플로웰20/60, 파이널 락, 플레어 피팅 등

다양한 변화
유량조정 부착, 바이패스 부착, 인디케이터 부착 등

용제·정전기대응용으로서 SUS 바디타입도 소형부터 대형까지 준비
급액 공급시스템용으로서 매니폴드타입도 준비
배액용으로서 PP, PVC재의 대구경타입도 준비

고온용은 160℃까지 대응 가능

기타 다양화하는 제어에 꼭 맞는 특수 사양도 준비

<형번>  
2포트밸브 3포트밸브
매니폴드·분기밸브 수주생산품 고압사양
 
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매뉴얼밸브·토글밸브 MMD·TMD
 

반도체 및 LCD 제조 등의 깨끗한 약액(순수를 포함)을 흐르게하는 장치내에서 사용되는 수동밸브

초고순도 프로세스 제어에 불가결한 고품질시스템상품을 다양하게 준비

PFA 성형 바디를 채용한 약액의 매뉴얼밸브가 소형부터 대형까지 변화가 다양한 시리즈화

다양한 접속 피팅
슈퍼 피팅, 슈퍼300, 플로웰20/60, 파이널 락, 플레어 피팅 등

용제·정전기대응용으로서 SUS 바디타입도 소형부터 대형까지 준비

급액 공급시스템용으로서 매니폴드타입도 준비
(단, PTFE 바디)

손잡이의 개폐에 의한 수동타입과 원터치에 의한 수동타입으로 선택가능

<형번>  
매뉴얼밸브·2포트밸브 토글밸브·2포트밸브
 
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약액용 색팩밸브 AMS·AMDS
 
레지스트 도포 공정에서 노즐 앞쪽 부분의 미량조정밸브
노즐 앞쪽 부분의 당김량의 미량조정이 가능
스피드 컨트롤러에 의한 당김량 스피드의 미세조정이 용이
유로내의 에어 고임이 없는 내부구조
에어 오퍼레이트밸브와의 일체타입도 준비
<형번>  
색팩밸브 AMS 에어 오퍼레이트밸브·색밸브 일체형 AMDS
 
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파인 레귤레이터 PYM·PMM10·PMM20
 

반도체 및 LCD 제조 등의 깨끗한 약액(순수를 포함)을 사용하는 장치내에서 약액의 압력 제어를 하기 위한 레귤레이터

이물질에 강한 필터 내장타입

유량·압력 특성에 뛰어나, 설치가 간단

뛰어난 내식성
접액부에는 불소수지(PFA·PTFE) 및 SUS316을 사용하기 때문에 뛰어난 내식성을 발휘

뛰어난 압력 및 유량 특성
불소수지제 다이아프램 채용에 의해, 금속제 다이아프램에 비교하여 압력 및 유량 특성이 뛰어남

필터 내장이기 때문에 유체내의 이물질에 대해 안전하다

패널 마운트 설치에 의해 설치가 용이하고 저면 설치도 가능

<형번>  
스텐레스바디 PYM PTF바디 PMM20
PFA바디, 고내식성타입 PMM20  
 
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디지털 파인레벨스위치 KML70·60·50
 

순수·산·알칼리·용제 등 다종의 부식성 유체의 액면 레벨을 고정도 검지해 전기신호로서 출력하는 액면레벨스위치

1~8점식의 3종류의 레벨스위치의 조합에 의해 효율적
한편 안전하게 액면 레벨의 검지가 가능(KML50, KML60)

1개의 검출 튜브로 8점의 액면 검출이 가능한 표시부 부착(KML70)
검출유량설정 불필요

유량조정 고정 오리피스 내장에 의해 외부 조임의 설치와 검출 유량의 설정이 불필요

<형번>  
다점설정형, 표시기 부착 8점 검출타입 KML70 다점설정형, 압력센서내장 4·6점 검출타입 KLM60
고정밀도, 1점 검출타입 KML50  
 
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기타 웨트파인기기
 
수주 생산품
<형번>  
미소유량조정밸브 LYX 파일럿 레귤레이터 LYX
배액용 밸브(2포트밸브) 배액용밸브(3포트밸브)
 
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관련기기
 

약액용 에어 오퍼레이트밸브의 조작용에 각종 전자밸브를 라인업.
소형·공간절약으로 고성능. 안전기능을 갖춘 친환경적인 전자밸브입니다.

<형번>  
소형전자밸브 MN3E0?MN4E0 파일럿식 공기압 3·5포트밸브 블록 매니홀드 MN4GA·4GB
파일럿식 공기압3·5포트밸브 4GA·4GB  
 
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