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| 파인시스템기기 약액용 기기에는아래의 상품이 있습니다. |
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반도체 및 LCD 제조 등의 깨끗한 약액(순수를 포함)을 흐르게하는 장치내에서 액의 ON·OFF에 사용되는 에어 오퍼레이트밸브
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초고순도 프로세스 제어에 불가결한 고기능·고품질 시스템 상품을 다양하게 준비 |
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PFA 성형 바디를 채용한 약액용 에어 오퍼레이트밸브가 소형부터 대형까지 변화가 다양한 완전시리즈화
1/8”~1"까지 높은 신뢰성 피팅을 일체화
접속구경Rc1/8~Rc1까지 선택이 자유롭다 |
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다양한 접속 피팅
슈퍼 피팅, 슈퍼300, 플로웰20/60, 파이널 락, 플레어 피팅 등 |
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다양한 변화
유량조정 부착, 바이패스 부착, 인디케이터 부착 등 |
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용제·정전기대응용으로서 SUS 바디타입도 소형부터 대형까지 준비 |
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급액 공급시스템용으로서 매니폴드타입도 준비 |
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배액용으로서 PP, PVC재의 대구경타입도 준비 |
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고온용은 160℃까지 대응 가능 |
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기타 다양화하는 제어에 꼭 맞는 특수 사양도 준비 |
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반도체 및 LCD 제조 등의 깨끗한 약액(순수를 포함)을 흐르게하는 장치내에서 사용되는 수동밸브
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초고순도 프로세스 제어에 불가결한 고품질시스템상품을 다양하게 준비 |
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PFA 성형 바디를 채용한 약액의 매뉴얼밸브가 소형부터 대형까지 변화가 다양한 시리즈화 |
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다양한 접속 피팅
슈퍼 피팅, 슈퍼300, 플로웰20/60, 파이널 락, 플레어 피팅 등 |
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용제·정전기대응용으로서 SUS 바디타입도 소형부터 대형까지 준비 |
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급액 공급시스템용으로서 매니폴드타입도 준비
(단, PTFE 바디) |
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손잡이의 개폐에 의한 수동타입과 원터치에 의한 수동타입으로 선택가능 |
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레지스트 도포 공정에서 노즐 앞쪽 부분의 미량조정밸브
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노즐 앞쪽 부분의 당김량의 미량조정이 가능 |
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스피드 컨트롤러에 의한 당김량 스피드의 미세조정이 용이 |
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유로내의 에어 고임이 없는 내부구조 |
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에어 오퍼레이트밸브와의 일체타입도 준비 |
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반도체 및 LCD 제조 등의 깨끗한 약액(순수를 포함)을 사용하는 장치내에서 약액의 압력 제어를 하기 위한 레귤레이터
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이물질에 강한 필터 내장타입 |
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유량·압력 특성에 뛰어나, 설치가 간단 |
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뛰어난 내식성
접액부에는 불소수지(PFA·PTFE) 및 SUS316을 사용하기 때문에 뛰어난 내식성을 발휘 |
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뛰어난 압력 및 유량 특성
불소수지제 다이아프램 채용에 의해, 금속제 다이아프램에 비교하여 압력 및 유량 특성이 뛰어남 |
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필터 내장이기 때문에 유체내의 이물질에 대해 안전하다 |
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패널 마운트 설치에 의해 설치가 용이하고 저면 설치도 가능 |
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순수·산·알칼리·용제 등 다종의 부식성 유체의 액면 레벨을 고정도 검지해 전기신호로서 출력하는 액면레벨스위치
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1~8점식의 3종류의 레벨스위치의 조합에 의해 효율적
한편 안전하게 액면 레벨의 검지가 가능(KML50, KML60) |
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1개의 검출 튜브로 8점의 액면 검출이 가능한 표시부 부착(KML70)
검출유량설정 불필요 |
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유량조정 고정 오리피스 내장에 의해 외부 조임의 설치와 검출 유량의 설정이 불필요 |
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| 수주 생산품 |
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약액용 에어 오퍼레이트밸브의 조작용에 각종 전자밸브를 라인업.
소형·공간절약으로 고성능. 안전기능을 갖춘 친환경적인 전자밸브입니다. |
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